高纯氮气的性质
发布时间:2019-06-13来源:洛阳华普高纯气体点击:3937
高纯氮气从字面意思来看就是一种气体,那么是什么样的一种气体呢?我们都不知道,因为我们并没有体验过看见过,所以今天我们高纯氮气小编就是给您介绍有关高纯氮气的一些事情,就是这种气体的性质,所以,请跟我们高纯氮气小编一起来研究高纯氮气的性质。
性质:纯度大于99.999%。无色无臭无味无毒的惰性气体。相对密度ds(21.1℃,空气=1)0.967。气体密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液体密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。沸点-195.8℃。熔点-209.9℃。氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。、
高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。
纯化方法:氮气纯化方法主要有吸附法、变压吸附法、膜分离法等。在生产中,通常采用黑色钢瓶盛放氮气。