高纯氧气可用于二氧化硅的化学气相沉积

　　高纯氧气用于二氧化硅的化学气相沉积，作为氧化源和生产高纯水的试剂，干氧化与四氟化碳混合用于等离子体蚀刻。应注意安全，并应做好防震，防火，耐热和防油等工作。

　　据了解，高纯氧气可以促进燃烧。应将其保存在阴凉处。严禁接触烟花和易燃材料。请勿在氧气计的螺旋形嘴上放油。对于不同类型的气体（例如，氮气、氢气、氩气和氦气），高纯气体具有不同的纯度指标。

　　而高纯氧气通常只需要氧气纯度，而对其他卫生条件没有特殊要求。同时，它还包含有害气体，例如一氧化碳，甲烷，湿气，细菌和灰尘。工业氧气主要用于焊接和气焊、气割等。

　　高纯氧气是空气的成分之一，无色，无味，无味。氧气的密度大于空气的密度，在标准条件下（0°C和大气压101325 Pa），密度为1.429 g/l。氧气的大规模生产方法是分馏液态空气。首先，空气被压缩，并且在膨胀和膨胀之后被冻结为液态空气。由于稀有气体和氮气的沸点低于氧气，因此，分馏后，剩下的就是液态氧，可存放在高压钢瓶中。

　　工业高纯氧气是用于工业生产和产品加工的气体。低质量要求通常要求纯度达到99％或更高。填充程序不如医用氧气严格。水和其他杂质经常混入并保留在氧气瓶的氧气瓶中。混入并残留在钢瓶中的水将导致氧气瓶的内壁生锈，这将导致瓶中的气体产生异味。