乙硅烷是一种无机化合物，其化学式为Si2H6，在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质，但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定，在室温缓慢分解成硅烷和氢。在300～500℃分解成为SiH4、SinHm、H2，在光照下也分解。主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。